Electrostatic–pneumatic activation is an actuation method for shaping thin membranes for microelectromechanical and microoptoelectromechanical systems.[1][2] This method benefits from operation at high speed and low power consumption.[3] It can also cause large deflection on thin membranes. Electrostatic-pneumatic MEMS devices usually consist of two membranes with a sealed cavity in between. One membrane-calling actuator deflects into the cavity by electrostatic pressure to compress air and increase air pressure. Elevated pressure pushes the other membrane and causes a dome shape. With direct electrostatic actuation on the membrane, a concave shape is achieved.
This method is used in MEMS deformable mirrors[4][5]
[6][7][8] to create convex and concave mirrors.[9] Electrostatic-pneumatic actuation can double maximum displacement of a thin membrane compared to only electrostatic actuated membrane.[10]
Moreover, mechanical advantage[11] is possible by use of electrostatic-pneumatic actuation. Since the cavity is filled with air, mechanical amplification is lower than hydraulic machinery with a non-compressible fluid.
References
Шаблон:Reflist
| Партнерские ресурсы |
|---|
| Криптовалюты |
|
|---|
| Магазины |
|
|---|
| Хостинг |
|
|---|
| Разное |
- Викиум - Онлайн-тренажер для мозга
- Like Центр - Центр поддержки и развития предпринимательства.
- Gamersbay - лучший магазин по бустингу для World of Warcraft.
- Ноотропы OmniMind N°1 - Усиливает мозговую активность. Повышает мотивацию. Улучшает память.
- Санкт-Петербургская школа телевидения - это федеральная сеть образовательных центров, которая имеет филиалы в 37 городах России.
- Lingualeo.com — интерактивный онлайн-сервис для изучения и практики английского языка в увлекательной игровой форме.
- Junyschool (Джунискул) – международная школа программирования и дизайна для детей и подростков от 5 до 17 лет, где ученики осваивают компьютерную грамотность, развивают алгоритмическое и креативное мышление, изучают основы программирования и компьютерной графики, создают собственные проекты: игры, сайты, программы, приложения, анимации, 3D-модели, монтируют видео.
- Умназия - Интерактивные онлайн-курсы и тренажеры для развития мышления детей 6-13 лет
- SkillBox - это один из лидеров российского рынка онлайн-образования. Среди партнеров Skillbox ведущий разработчик сервисного дизайна AIC, медиа-компания Yoola, первое и самое крупное русскоязычное аналитическое агентство Tagline, онлайн-школа дизайна и иллюстрации Bang! Bang! Education, оператор PR-рынка PACO, студия рисования Draw&Go, агентство performance-маркетинга Ingate, scrum-студия Sibirix, имидж-лаборатория Персона.
- «Нетология» — это университет по подготовке и дополнительному обучению специалистов в области интернет-маркетинга, управления проектами и продуктами, дизайна, Data Science и разработки. В рамках Нетологии студенты получают ценные теоретические знания от лучших экспертов Рунета, выполняют практические задания на отработку полученных навыков, общаются с экспертами и единомышленниками. Познакомиться со всеми продуктами подробнее можно на сайте https://netology.ru, линейка курсов и профессий постоянно обновляется.
- StudyBay Brazil – это онлайн биржа для португалоговорящих студентов и авторов! Студент получает уникальную работу любого уровня сложности и больше свободного времени, в то время как у автора появляется дополнительный заработок и бесценный опыт.
- Автор24 — самая большая в России площадка по написанию учебных работ: контрольные и курсовые работы, дипломы, рефераты, решение задач, отчеты по практике, а так же любой другой вид работы. Сервис сотрудничает с более 70 000 авторов. Более 1 000 000 работ уже выполнено.
- StudyBay – это онлайн биржа для англоязычных студентов и авторов! Студент получает уникальную работу любого уровня сложности и больше свободного времени, в то время как у автора появляется дополнительный заработок и бесценный опыт.
|
|---|
- ↑ K. J. Gabriel, O. Tabata, K. Shimaoka, S. Sugiyama, H. Fujita "Surface normal electrostatic/pneumatic actuator" Micro Electro Mechanical Systems 92 Travemunde (Germany), Feb. 1992
- ↑ Cleopatra Cabuz, Thomas R. Ohnstein, Michael R. Elgersma (2000), "Electrostatic/pneumatic actuator for active surfaces" US Patent No. 09/573,460
- ↑ Moghimi, M. J. Chattergoon, K. N. Dickensheets, D. L. “High speed focus control capability of electrostatic–pneumatic MEMS deformable mirrors” in Proc. SPIE 8977, MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, CA, Mar. 2014, pp. 897709, 897709-9
- ↑ Шаблон:Cite journal
- ↑ Шаблон:Cite journal
- ↑ Шаблон:Cite journal
- ↑ Шаблон:Cite web
- ↑ Шаблон:Cite web
- ↑ Moghimi, M. J. Wilson, C. Dickensheets, D. L. “Electrostatic-pneumatic membrane mirror with positive or negative variable optical power” in Proc. SPIE 8617, MEMS Adaptive Optics VII, San Francisco, CA, Mar. 2013, pp. 861707-1, 861707-9
- ↑ Moghimi, M. J. Wilson, C. R. Dickensheets, D. L., “Electrostatic-pneumatic MEMS deformable mirror for focus control” 2012 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), Banff, Canada, August 2012, pp. 132-133.
- ↑ Шаблон:Cite book
