Шаблон:Multiple issues
Hydride vapour-phase epitaxy (HVPE) is an epitaxial growth technique often employed to produce semiconductors such as GaN, GaAs, InP and their related compounds, in which hydrogen chloride is reacted at elevated temperature with the group-III metals to produce gaseous metal chlorides, which then react with ammonia to produce the group-III nitrides. Carrier gasses commonly used include ammonia, hydrogen and various chlorides.
HVPE technology can significantly reduce the cost of production compared to the most common method of vapor deposition of organometallic compounds (MOCVD).[1] Cost reduction is achieved by significantly reducing the consumption of NH3, cheaper source materials than in MOCVD, reducing the capital equipment costs, due to the high growth rate.
Developed in the 1960s, it was the first epitaxial method used for the fabrication of single GaN crystals.
Hydride vapour-phase epitaxy (HVPE) is the only III–V and III–N semiconductor crystal growth process working close to equilibrium. This means that the condensation reactions exhibit fast kinetics: one observes immediate reactivity to an increase of the vapour-phase supersaturation towards condensation. This property is due to the use of chloride vapour precursors GaCl and InCl, of which dechlorination frequency is high enough so that there is no kinetic delay. A wide range of growth rates, from 1 to 100 micrometers per hour, can then be set as a function of the vapour-phase supersaturation. Another HVPE feature is that growth is governed by surface kinetics: adsorption of gaseous precursors, decomposition of ad-species, desorption of decomposition products, surface diffusion towards kink sites. This property is of benefit when it comes to selective growth on patterned substrates for the synthesis of objects and structures exhibiting a 3D morphology. The morphology is only dependent on the intrinsic growth anisotropy of crystals. By setting experimental growth parameters of temperature and composition of the vapour phase, one can control this anisotropy, which can be very high as growth rates can be varied by an order of magnitude. Therefore, we can shape structures with various novel aspect ratios. The accurate control of growth morphology was used for the making of GaN quasi-substrates, arrays of GaAs and GaN structures on the micrometer and submicrometer scales, GaAs tips for local spin injection. Fast dechlorination property is also used for the VLS growth of GaAs and GaN nanowires with exceptional length.
References
Шаблон:Reflist
Шаблон:Engineering-stub
Партнерские ресурсы |
---|
Криптовалюты |
|
---|
Магазины |
|
---|
Хостинг |
|
---|
Разное |
- Викиум - Онлайн-тренажер для мозга
- Like Центр - Центр поддержки и развития предпринимательства.
- Gamersbay - лучший магазин по бустингу для World of Warcraft.
- Ноотропы OmniMind N°1 - Усиливает мозговую активность. Повышает мотивацию. Улучшает память.
- Санкт-Петербургская школа телевидения - это федеральная сеть образовательных центров, которая имеет филиалы в 37 городах России.
- Lingualeo.com — интерактивный онлайн-сервис для изучения и практики английского языка в увлекательной игровой форме.
- Junyschool (Джунискул) – международная школа программирования и дизайна для детей и подростков от 5 до 17 лет, где ученики осваивают компьютерную грамотность, развивают алгоритмическое и креативное мышление, изучают основы программирования и компьютерной графики, создают собственные проекты: игры, сайты, программы, приложения, анимации, 3D-модели, монтируют видео.
- Умназия - Интерактивные онлайн-курсы и тренажеры для развития мышления детей 6-13 лет
- SkillBox - это один из лидеров российского рынка онлайн-образования. Среди партнеров Skillbox ведущий разработчик сервисного дизайна AIC, медиа-компания Yoola, первое и самое крупное русскоязычное аналитическое агентство Tagline, онлайн-школа дизайна и иллюстрации Bang! Bang! Education, оператор PR-рынка PACO, студия рисования Draw&Go, агентство performance-маркетинга Ingate, scrum-студия Sibirix, имидж-лаборатория Персона.
- «Нетология» — это университет по подготовке и дополнительному обучению специалистов в области интернет-маркетинга, управления проектами и продуктами, дизайна, Data Science и разработки. В рамках Нетологии студенты получают ценные теоретические знания от лучших экспертов Рунета, выполняют практические задания на отработку полученных навыков, общаются с экспертами и единомышленниками. Познакомиться со всеми продуктами подробнее можно на сайте https://netology.ru, линейка курсов и профессий постоянно обновляется.
- StudyBay Brazil – это онлайн биржа для португалоговорящих студентов и авторов! Студент получает уникальную работу любого уровня сложности и больше свободного времени, в то время как у автора появляется дополнительный заработок и бесценный опыт.
- Автор24 — самая большая в России площадка по написанию учебных работ: контрольные и курсовые работы, дипломы, рефераты, решение задач, отчеты по практике, а так же любой другой вид работы. Сервис сотрудничает с более 70 000 авторов. Более 1 000 000 работ уже выполнено.
- StudyBay – это онлайн биржа для англоязычных студентов и авторов! Студент получает уникальную работу любого уровня сложности и больше свободного времени, в то время как у автора появляется дополнительный заработок и бесценный опыт.
|
---|